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真空鍍膜用電子槍、離子源及成套設備自動控制系統
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高壓、束流高度穩定,無漂移;
快速滅弧裝置可減少拉弧對蒸發過程中的影響;
有各種遠程控制功能,用來接收控制中心命令或對相關參數以及狀態進行監測;
模塊化電路設計,各部分電路相對獨立,使用接插件互連,維修更換非常方便;
多路連鎖保護功能,確保電源不易受損,更保護操作人員自身安全;
燈絲變壓器在電源柜內,不占用真室下面空間;
底部有腳輪和墊腳,方便移動和固定;
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