電子槍

電子束偏轉角270度，燈絲不易污染，適合鍍制多層膜；
使用永磁體構成偏轉磁場，避免失磁造成意外損失；
合理的磁場分布，電子束垂直入射，蒸發面平整不扎小坑；
蒸發氧化物及金屬效果非常好；不用特殊襯塌，就可直接蒸發鋁、鎳；
拆裝方便，更換燈絲簡單易行；

電子槍電源

高壓、束流高度穩定，無漂移；
快速滅弧裝置可減少拉弧對蒸發過程中的影響；
有各種遠程控制功能，用來接收控制中心命令或對相關參數以及狀態進行監測；
模塊化電路設計，各部分電路相對獨立，使用接插件互連，維修更換非常方便；
多路連鎖保護功能，確保電源不易受損，更保護操作人員自身安全；
燈絲變壓器在電源柜內，不占用真室下面空間；
底部有腳輪和墊腳，方便移動和固定；

低壓電級

采用專用真空密封插座；
采用不銹鋼安裝密封座；

高壓電極

無氧銅導電芯；
陶瓷管絕緣；
保護套管材料為聚四氟乙烯，

旋轉坩堝

堆盤可定制穴位、環形、穴位+香蕉形；
采用軸上水結構；步進電機驅動，同步帶連接；
配套堆控制器，上位機（或PLC）可通過IO口或RS485通訊來控制堆鍋旋轉定位；

相關配件

瓷板

在OEBG-103電子槍發射器中的零件代號為：03-4

瓷柱

在OEBG-103電子槍發射器中的零件代號為：03-11。

襯鍋